Kini ohun elo ti o dara julọ lati lo fun iwọn idaduro CMP

Kini ohun elo ti o dara julọ lati lo fun iwọn idaduro CMP?

Awọn awin Silicon jẹ iṣelọpọ Silicon ti a lo ninu iṣelọpọ ti awọn iyiti Silicon Stucontins Silicon Wafer, iṣẹ ti o dara julọ ti Silocon yii wa, ni okunfa ti agbara imọ-ẹrọ, nitorinaa ni ilana iṣelọpọ, eyiti o fun awọn ibeere iṣelọpọ ti o wa tun jẹ igbega, CMP Ilana poling tun di diẹ sii ati siwaju sii ti o gaju, nitorinaa ilana dogba lati lo Gbọta ti o wa titi

Lakoko ilana imudaragba wafer, iwọn abojuto oruka gbọdọ mu wafer lakoko ilana polhing. Lakoko ilana idena, awọn kemikali oriṣiriṣi ni a fikun, ati awọn olomi wọnyi le ṣe idiwọ awọn ẹru ti o ni idapo, irọrun ti o dara ati resistance ti o dara ati awọn abuda miiran ti o dara.

Lati akopọ, lati ṣe awọn oruka CMP Iduroṣinṣin, a nilo awọn oludari lati ni iduroṣinṣin ṣiṣe-giga pupọ ati iduroṣinṣin onisẹwọn lati dinku fifa awọn oluwa odo nigbamii.

Nigbagbogbo a yan awọn eso pilasiki ẹrọ pataki meji: PPS ati Peek lati le ilana ati gbe awọn oruka idaduro CMP.

Ohun elo PPS ni ijuwe nipasẹ wiwọ giga giga ati atako kẹmika ti o dara, ni afiwe si iwọn ti o dara, PPS ti o dara kekere, ati pe o ti ṣẹda pq ile-iṣẹ pipe kan, pẹlu idile ṣe afihan iṣẹ idiyele.

Oruka Iduroṣinṣin Peik CMP ni agbara ti o ga julọ ti ikọlu Ni igbagbogbo ẹrọ lilọ kiri giga-agbara diẹ sii, ni akoko ibatan, awọn ipo iṣẹ kanna, gun, ṣugbọn iye owo naa yoo tun jẹ ga si diẹ ninu.